2022年6月8日,華海清科股份有限公司成功登陸上交所科創板,股票代碼: 688120。華海清科是一家擁有核心自主知識產權的高端半導體設備制造商,主要從事半導體專用設備的研發、生產、銷售及技術服務,主要產品為化學機械拋光(CMP)設備,是一家為集成電路制造商提供 12 英寸 CMP 商業機型的高端半導體設備制造商。
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芯片制造主要包括光刻、CMP、刻蝕、薄膜和摻雜等關鍵工藝技術,其中,CMP 是在芯片制造制程和工藝演進到一定程度、摩爾定律因沒有合適的拋光工藝無法繼續推進之時才誕生的一項新技術,是先進集成電路制造前道工序、先進封裝等環節必需的關鍵制程工藝。
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華海清科所生產 CMP 設備可廣泛應用于 12 英寸和 8 英寸的集成電路大生產線,產品總體技術性能已達到國內領先水平,所生產的 CMP 設備已廣泛應用于中芯國際、長江存儲、華虹集團、英特爾、長鑫存儲、廈門聯芯、廣州粵芯、上海積塔等國內外先進集成電路制造商的大生產線中。
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此外,針對下游客戶生產線控片、擋片的晶圓再生以及設備關鍵耗材采購、維保等需求,華海清科積極拓展晶圓再生業務、關鍵耗材銷售和維保等技術服務業務,已成功獲得業務訂單并形成規模化銷售。
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本次上市擬募集10億元用于建設高端半導體裝備(化學機械拋光機)產業化項目、高端半導體裝備研發項目、晶圓再生項目以及補充流動資金。
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其中,高端半導體裝備(化學機械拋光機)產業化項目,總投資約5.4億元,設計產能為年產 100 臺化學機械拋光機(包括減薄設備);高端半導體裝備研發項目計劃總投資約3.11億元,項目通過開展系列技術研發課題,創新研發面向 14nm 及以下制程先進半導體制造 CMP、減薄多項關鍵技術及系統,并研發相應的成套先進工藝;晶圓再生項目計劃總投資約3.58億元,新增生產設備及儀器 46 套,項目建成后具備月加工 10 萬片 12 英寸再生晶圓的生產能力。