陶瓷封裝外殼能提供芯片氣密性的密封保護(hù),使其具有優(yōu)良的可靠性,具有較高的布線密度,在電、熱、機(jī)械特性等方面極其穩(wěn)定。陶瓷封裝外殼制備以 HTCC為主流,通常是由多層陶瓷金屬化底座(多層陶瓷饋通組件)和金屬零件(外引線框架、封結(jié)環(huán)、散熱片等)采用銀銅焊料釬焊而成的。
圖 陶瓷封裝管殼生產(chǎn)工藝流程
多層陶瓷封裝外殼制造工藝流程主要包括原材料制備、流延、沖孔沖腔、金屬化印刷、層壓、熱切、燒結(jié)、鍍鎳、釬焊、鍍金等。
1. 漿料制備
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陶瓷基座的制作采用高熔點(diǎn)的鎢金屬,而鎢金屬不具有可焊性和可鍵合性,所以需要對(duì)陶瓷表面金屬化區(qū)域進(jìn)行改性,使其具有可焊性、可鍵合性,便于釬焊金屬零部件。對(duì)陶瓷表面金屬化區(qū)域改性最常用的方法有電鍍和化學(xué)鍍。
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陶瓷管殼制備以 HTCC為主流,通過印刷W、Mo等高溫導(dǎo)電漿料作為導(dǎo)體。這些導(dǎo)體在空氣中容易氧化,使其潤濕性和可焊性變差。一般通過鍍Au 進(jìn)行表面修飾,形成保護(hù)層,從而避免表面導(dǎo)體的氧化和腐蝕。
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原文始發(fā)于微信公眾號(hào)(艾邦陶瓷展):HTCC陶瓷封裝外殼主要生產(chǎn)工藝流程介紹