合肥中科島晶科技有限公司成立于2023年4月。公司主營玻璃金屬穿孔(Through Glass Via,TGV)技術研發、 生產、銷售和服務業務。
高密度玻璃垂直通孔 圖源官網
TGV晶圓 圖源官網
當前,本公司依據玻璃晶圓高絕緣性、低介電常數以及高精度的特性,全面且系統地開展玻璃基異質異構集成混合工藝的開發工作。已成功開發出多種專門針對玻璃晶圓精密加工的工藝,包括激光誘導刻蝕、噴砂等。通過這些工藝,成功實現了玻璃漏斗孔、垂直孔、盲孔制作的均一性,并且能夠完成微孔金屬填充。不僅如此,公司還建立起了一條完善的封測工藝線,涵蓋玻璃基加工、表面金屬化、晶圓鍵合、劃片等多個環節。在實際應用環節,合肥中科島晶順利完成了高精度諧振器、壓力傳感器、濾波器、氣體傳感器等的封測工作。這些封測成果充分展現了合肥中科島晶在相關領域的技術實力。
玻璃微孔金屬填充
資料來源:公司官網
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