踏入沈陽半導體精密劃切設備研發及產業基地(一期)項目工地大門,塔吊林立。一期一共包括六個施工單體,目前基本全部封頂了。
這個項目,是沈陽和研科技股份有限公司在沈北新區投資布局的重點項目。該項目于2023年7月摘牌,計劃投資3.2億元,占地87畝,分兩期建設,其中一期項目占地約67畝、建筑面積3.4萬平方米,主要建設生產廠房、研發辦公樓及附屬配套設施。
按照計劃,項目一期將在2025年上半年建成投產,未來將主要生產精密劃片機、切割分選一體機等設備,實現對半導體切割設備的技術研發升級,提高產品規模化生產能力。
項目投產后,將有效吸引半導體產業鏈上下游企業加速集聚,為沈北地區半導體等戰略性新興產業發展起到重要作用,為地區經濟發展貢獻新的增長點。
作為國內半導體專用設備研發制造領軍企業,和研科技自主研發的DS系列精密劃片機突破了高穩定性機芯結構設計及加工裝配技術等7項核心關鍵技術,已達到國內領先、國際先進水平。企業先后榮獲高新技術企業、省級瞪羚企業、國家級專精特新“小巨人”企業、省級制造業單項冠軍等稱號,累計授權發明專利72項、實用新型專利29項、外觀設計專利5項,軟件著作權17項。
值得一提的是,和研科技為全省集成電路產業發展作出了突出貢獻,研發出全省首臺12英寸高精度全自動精密劃片機,實現了對國外壟斷產品的國產化替代,推動了精密磨劃設備的國產化進程。
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