金剛石半導體具有超寬禁帶（5.45eV），高擊穿場強（10MV/cm）、高載流子飽和漂移速度、高熱導率（22W/cmK）等材料特性，以及優(yōu)異的器件品質因子（Johnson、Keyes、Baliga），采用金剛石襯底可研制高溫、高頻、大功率、抗輻照電子器件，克服器件的“自熱效應”和“雪崩擊穿”等技術瓶頸，在5G/6G通信，微波/毫米波集成電路，探測與傳感等領域發(fā)展起到重要作用。目前，金剛石電子器件的發(fā)展受限于大尺寸、高質量的單晶襯底。硅、藍寶石等襯底的商業(yè)化，為異質外延單晶金剛石提供了前提條件。
近日，西安交大研究團隊采用微波等離子體化學氣相沉積（MPCVD）技術，成功實現(xiàn)2英寸異質外延單晶金剛石自支撐襯底的批量化（如圖一所示）。通過對成膜均勻性、溫場及流場的有效調(diào)控，提高了異質外延單晶金剛石成品率。襯底表面具有臺階流（step-flow）生長模式（如圖二所示），可降低襯底的缺陷密度，提高晶體質量。XRD（004）、（311）搖擺曲線半峰寬分別小于91 arcsec和111 arcsec（如圖三所示），達到世界領先水平。
圖一.?2英寸異質外延單晶金剛石自支撐襯底照片
圖二.?異質外延金剛石光學顯微鏡照片（a）放大100倍（b）放大500倍
圖三. XRD測試結果（a）（004）面搖擺曲線；（b）（311）面搖擺曲線；（c）（311）面四重對稱；（d）極圖
西安交大寬禁帶半導體材料與器件研究中心于2013年建立，實驗室主任為國家級特聘專家王宏興教授。實驗室經(jīng)過近10年的發(fā)展，已形成具有自主知識產(chǎn)權的金剛石半導體外延設備研發(fā)、單晶/多晶襯底生長、電子器件研制等系列技術，已獲授權48項專利。與國內(nèi)相關大型通信公司，中國電科相關研究所等開展金剛石半導體材料與器件的廣泛合作，促進了金剛石射頻功率電子器件、電力電子器件、MEMS等器件的實用性發(fā)展。
推薦活動：
01
Translation: Conference Topics
|
序號 |
Provisional agenda |
擬邀請企業(yè) |
|
1 |
8英寸碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)化進展 |
擬邀請?zhí)蓟枰r底企業(yè)/高校研究所 |
|
2 |
大尺寸碳化硅單晶生長技術痛點解析 |
擬邀請?zhí)蓟鑶尉е苽淦髽I(yè)/高校研究所 |
|
3 |
新一代切片機“破局”8英寸碳化硅 |
擬邀請切割設備企業(yè)/高校研究所 |
|
4 |
激光技術在碳化硅切割及劃片上的應用 |
擬邀請激光企業(yè)/高校研究所 |
|
5 |
液相法制備碳化硅技術 |
擬邀請?zhí)蓟杵髽I(yè)/高校研究所 |
|
6 |
國產(chǎn)MBE設備應用及發(fā)展情況 |
擬邀請?zhí)蓟柰庋悠髽I(yè)/高校研究所 |
|
7 |
SiC MOS器件結構設計解決方案 |
擬邀請?zhí)蓟杵骷髽I(yè)/高校研究所 |
|
8 |
車用碳化硅加工工藝與要點研究 |
擬邀請?zhí)蓟杓庸て髽I(yè)/高校研究所 |
|
9 |
利用碳化鉭的碳化硅單晶生長技術 |
擬邀請?zhí)蓟杵髽I(yè)/高校研究所 |
|
10 |
碳化硅襯底研磨拋光工藝及耗材技術 |
擬邀請研磨拋光設備企業(yè)/高校研究所 |
|
11 |
適用于8英寸碳化硅的先進切割工藝 |
擬邀請切割設備企業(yè)/高校研究所 |
|
12 |
化學機械拋光在碳化硅上的反應機理 |
擬邀請拋光設備企業(yè)/高校研究所 |
|
13 |
碳化硅襯底及外延缺陷檢測技術 |
擬邀請檢測設備企業(yè)/高校研究所 |
|
14 |
8英寸碳化硅外延材料生長核心工藝與關鍵裝備 |
擬邀請?zhí)蓟柰庋悠髽I(yè)/高校研究所 |
|
15 |
外延摻雜技術的優(yōu)化與改進 |
擬邀請?zhí)蓟柰庋悠髽I(yè)/高校研究所 |
|
16 |
8英寸碳化硅的氧化工藝技術 |
擬邀請?zhí)蓟杵髽I(yè)/高校研究所 |
|
17 |
碳化硅離子注入設備技術 |
擬邀請離子注入企業(yè)/高校研究所 |
|
18 |
高純度碳化硅粉末制備碳化硅晶體 |
擬邀請激光企業(yè)/高校研究所 |
|
19 |
碳化硅先進清洗技術 |
擬邀請清洗設備企業(yè)/高校研究所 |
|
20 |
碳化硅關鍵裝備的現(xiàn)狀及國產(chǎn)化思考 |
擬邀請?zhí)蓟柙O備企業(yè)/高校研究所 |
Translation: More related topics are being collected. For speeches and sponsorships, please contact Ms. Zhang: 13418617872 (also WeChat).
02 擬邀企業(yè)
-
高純碳粉、硅粉、碳化硅粉末、坩堝、籽晶等材料企業(yè)；
-
晶錠、襯底、外延、晶圓等產(chǎn)品企業(yè)；
-
碳化硅晶體、外延生長等設備企業(yè)；
-
金剛石線切割、砂漿線切割、激光切割等切割設備企業(yè)；
-
碳化硅磨削、研磨、拋光和清洗及耗材等企業(yè)；
-
檢測、退火、減薄、沉積、離子注入等其他設備企業(yè)；
-
高校、科研院所、行業(yè)機構等；
03
報名方式
方式1：加微信
?
?
https://www.aibang360.com/m/100182?ref=172672
04 收費標準
|
付款時間 |
1~2個人(單價每人) |
3個人及以上(單價） |
|
4月11日前 |
2600/人 |
2500/人 |
|
5月11日前 |
2700/人 |
2600/人 |
|
6月11日前 |
2800/人 |
2700/人 |
|
現(xiàn)場付款 |
3000/人 |
2800/人 |
★費用包括會議門票、全套會議資料、午餐、茶歇等，但不包括住宿。
05 贊助方案
|
項目 |
服務內(nèi)容 |
|
主題演講+現(xiàn)場展臺 |
30 分鐘主題演講 |
|
3個參會名額 |
|
|
商標展示：背景板logo、會刊封面logo |
|
|
現(xiàn)場展示臺1個，主辦方提供搭建噴繪背景板搭建，客戶自行設計（設計稿規(guī)格要求：寬*高 200cm*112.5cm，分辨率100以上，格式為PSD或AI原文件） |
|
|
會刊廣告 |
|
|
易拉寶/禮品贊助（2選1） |
|
|
主題演講 |
30 分鐘主題演講 |
|
現(xiàn)場展臺 |
現(xiàn)場展示臺，展示樣品、資料以及洽談 |
|
噴繪背景板1個，主辦方提供搭建搭建，客戶自行設計（設計稿規(guī)格要求：寬*高 200cm*112.5cm，分辨率100以上，格式為PSD或AI原文件） |
|
|
3個參會名額 |
|
|
會刊廣告 |
研討會會刊，彩色全頁廣告（尺寸210*285mm） |
|
側屏廣告 |
主講屏幕LED兩邊側屏，單邊側屏廣告，全天會議期間展示（客戶自行設計，圖片尺寸以實際面積為準） |
|
參會證掛繩贊助 |
掛繩上印刷公司名稱及LOGO |
|
參會證贊助 |
參會證上印刷公司名稱及LOGO |
|
資料袋贊助 |
資料袋上印刷公司名稱及LOGO |
|
桌牌贊助 |
桌牌上印刷公司名稱及LOGO |
|
資料入袋 |
企業(yè)宣傳冊(不超過6頁)放入資料袋 |
|
會議通訊錄banner橫幅廣告 |
植入在本會議觀眾通訊錄置頂?shù)臋M幅廣告，有效期6個月 |
|
Logo展示 |
背景板logo，會刊封面logo |
|
易拉寶 |
現(xiàn)場放置1個易拉寶作為展示 |
|
禮品贊助 |
禮品可印上公司logo，贈送參會聽眾作為企業(yè)標識推廣 |
|
微信推送 |
微信公眾號軟文推廣，企業(yè)介紹及相關軟文1篇 |
原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦半導體網(wǎng)）：西安交通大學實現(xiàn)2英寸異質外延單晶金剛石襯底量產(chǎn)
一顆芯片的制造工藝非常復雜，需經(jīng)過幾千道工序，加工的每個階段都面臨難點。歡迎加入艾邦半導體產(chǎn)業(yè)微信群：
長按識別二維碼關注公眾號，點擊下方菜單欄左側“微信群”，申請加入群聊
English 
Chinese