歲末年初，華章日新。12月30日，甬江實(shí)驗(yàn)室信息材料與微納器件制備平臺(tái)（以下簡(jiǎn)稱“微納平臺(tái)”）舉行研發(fā)線運(yùn)行儀式。當(dāng)天，寧波市委常委、副市長(zhǎng)徐巖，甬江實(shí)驗(yàn)室主任崔平，異質(zhì)異構(gòu)集成及半導(dǎo)體相關(guān)領(lǐng)域行業(yè)專家學(xué)者，以及寧波市、區(qū)級(jí)有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)蒞臨現(xiàn)場(chǎng)，共同見(jiàn)證微納平臺(tái)研發(fā)線正式投用。同期，還舉辦了甬江實(shí)驗(yàn)室異質(zhì)異構(gòu)集成前沿論壇，來(lái)自國(guó)內(nèi)外相關(guān)領(lǐng)域頭部企業(yè)、科研院所的大咖齊聚論壇，圍繞異質(zhì)異構(gòu)集成分享最新研究成果和看法，探討技術(shù)發(fā)展方向和面臨的挑戰(zhàn)，拓展有效合作機(jī)制和路徑。
微納平臺(tái)是甬江實(shí)驗(yàn)室在電子信息材料與器件領(lǐng)域布局建設(shè)的重要公共科研支撐服務(wù)平臺(tái)，也是甬江實(shí)驗(yàn)室迄今為止投入最大的平臺(tái)。平臺(tái)聚焦“芯片異構(gòu)集成”與“微納光學(xué)”兩大方向，圍繞高速通訊、元宇宙、自動(dòng)駕駛和智能機(jī)器人等未來(lái)產(chǎn)業(yè)所需的核心半導(dǎo)體制造技術(shù)，提供從光電芯片材料生長(zhǎng)、器件制備、模組開(kāi)發(fā)到檢測(cè)驗(yàn)證全流程前沿工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)，以及先進(jìn)的驗(yàn)證手段和系統(tǒng)的解決方案，致力于成為支撐前沿科技創(chuàng)新、引領(lǐng)微納制造共性技術(shù)、賦能產(chǎn)研生態(tài)的開(kāi)放、共享型科創(chuàng)服務(wù)平臺(tái)。
微納平臺(tái)現(xiàn)已聚集48位高水平科研和管理人員，擁有一流的基礎(chǔ)設(shè)施、先進(jìn)的制程工藝，已建成6英寸研發(fā)線和8英寸驗(yàn)證線各一條，配備了165臺(tái)（套）高端精密設(shè)備，為集成電路領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)提供高效先進(jìn)的檢驗(yàn)驗(yàn)證和系統(tǒng)解決方案。此次投用的正是6英寸研發(fā)線，8英寸驗(yàn)證線有望在2025年上半年投用。
徐巖對(duì)甬江實(shí)驗(yàn)室微納平臺(tái)研發(fā)線正式投用表示祝賀。徐巖指出，微納平臺(tái)是發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)核心技術(shù)的重要支撐，是推動(dòng)我市集成電路產(chǎn)業(yè)持續(xù)創(chuàng)新與進(jìn)步的重要力量。平臺(tái)投用后，將面向所有科研院所和企業(yè)開(kāi)放，提供先進(jìn)的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)驗(yàn)證服務(wù)，這是甬江實(shí)驗(yàn)室建設(shè)發(fā)展過(guò)程中的一件大事，對(duì)寧波未來(lái)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。他希望微納平臺(tái)聚焦“卡脖子”難題，不斷攻關(guān)突破關(guān)鍵核心技術(shù)，為寧波引進(jìn)更多優(yōu)質(zhì)的集成電路項(xiàng)目，完善寧波集成電路產(chǎn)業(yè)鏈條。
崔平對(duì)各位專家學(xué)者和領(lǐng)導(dǎo)的參會(huì)表示熱烈歡迎。她指出，新一代半導(dǎo)體作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要組成部分，對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)等相關(guān)領(lǐng)域具有重要戰(zhàn)略意義，也是當(dāng)前世界各國(guó)科技競(jìng)爭(zhēng)的焦點(diǎn)之一。新一代半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展既關(guān)乎產(chǎn)業(yè)升級(jí)，更關(guān)乎國(guó)家發(fā)展。但多年來(lái)我國(guó)在半導(dǎo)體和光電器件領(lǐng)域具有真正意義的公共研發(fā)和驗(yàn)證平臺(tái)并不多，使得我國(guó)在該領(lǐng)域的創(chuàng)新門檻和成本很高。
為此，甬江實(shí)驗(yàn)室經(jīng)過(guò)3年多國(guó)內(nèi)外的調(diào)研、論證、場(chǎng)地建設(shè)、設(shè)備選型、采購(gòu)、安裝調(diào)試，在國(guó)內(nèi)外知名同類平臺(tái)、友商以及政府有關(guān)部門的支持和幫助下，微納平臺(tái)研發(fā)線正式投用，這標(biāo)志著甬江實(shí)驗(yàn)室在推進(jìn)科技創(chuàng)新服務(wù)體系建設(shè)方面又邁出了新的一步。未來(lái)，甬江實(shí)驗(yàn)室微納平臺(tái)將始終秉持開(kāi)放共享的原則，恪守"中立"精神，持續(xù)完善平臺(tái)功能，提升服務(wù)能力，為高校院所和企業(yè)提供強(qiáng)有力的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施、先進(jìn)工藝開(kāi)發(fā)與驗(yàn)證環(huán)境，加速科研成果轉(zhuǎn)化為現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)力，打通創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈上下游合作通道，形成良性互動(dòng)的創(chuàng)新生態(tài)。
運(yùn)行儀式上，微納平臺(tái)負(fù)責(zé)人鐘飛對(duì)平臺(tái)進(jìn)行了介紹，并在現(xiàn)場(chǎng)與合作企業(yè)代表舉行了簽約儀式，與來(lái)自寧波、杭州、蘇州、北京等地的企業(yè)簽署合作協(xié)議。
儀式同期還舉辦了異質(zhì)異構(gòu)集成前沿論壇，來(lái)自學(xué)術(shù)界、產(chǎn)業(yè)界的知名專家學(xué)者作主旨報(bào)告，并與參會(huì)代表一同探討異質(zhì)異構(gòu)集成前沿技術(shù)和發(fā)展機(jī)遇。
劉豐滿 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所系統(tǒng)封裝與集成研發(fā)中心副主任
劉豐滿教授以《先進(jìn)封裝關(guān)鍵技術(shù)及發(fā)展趨勢(shì)》為主題，系統(tǒng)講解了先進(jìn)封裝通過(guò)設(shè)計(jì)創(chuàng)新、工藝創(chuàng)新、功能融合等方法實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的架構(gòu)創(chuàng)新，提升算力、存力與互連能力，實(shí)現(xiàn)芯片、模組與板級(jí)的系統(tǒng)化，以推動(dòng)高算力案例以及定制化產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與快速迭代。
萬(wàn)青
甬江實(shí)驗(yàn)室功能材料與器件異構(gòu)集成研究中心主任
萬(wàn)青主任以《大尺寸晶圓鍵合/減薄及其高性能器件應(yīng)用》為主題，介紹了6-12英寸鈮酸鋰和硅晶圓減薄的極限厚度與晶圓的材質(zhì)和尺寸的密切關(guān)系，并詳細(xì)介紹了甬江實(shí)驗(yàn)室憑借全新的鍵合及減薄工藝，實(shí)現(xiàn)了晶圓減薄極限。
陶虎 上海交通大學(xué)特聘教授、先進(jìn)電子技術(shù)研究院院長(zhǎng)
陶虎教授以《腦機(jī)接口：讓大腦連接未來(lái)》為主題，介紹了腦機(jī)接口這一新興的、具有潛在顛覆性的技術(shù)領(lǐng)域，以及其在高質(zhì)量信號(hào)、編解碼機(jī)制和道德法律規(guī)范方面存在的挑戰(zhàn)。
黃綴利 聯(lián)合微電子中心有限責(zé)任公司硅光工程師
黃綴利工程師以《CUMEC晶圓級(jí)硅光+TFLN異質(zhì)集成平臺(tái)》為主題，介紹了聯(lián)合微電子中心有限公司在硅基光電子、異質(zhì)異構(gòu)三維集成等核心方向的高端特色工藝平臺(tái)，特別是在硅光鈮酸鋰混合集成技術(shù)方面的突出進(jìn)展。
鐘磊 甬矽電子（寧波）股份有限公司研發(fā)總監(jiān)
鐘磊總監(jiān)以《系統(tǒng)集成及先進(jìn)晶圓級(jí)封裝集成趨勢(shì)》為主題，介紹了半導(dǎo)體行業(yè)的市場(chǎng)趨勢(shì)和傳統(tǒng)封裝和晶圓級(jí)封裝的市場(chǎng)趨勢(shì)，即傳統(tǒng)封裝向高階集成化發(fā)展、向先進(jìn)晶圓級(jí)封裝技術(shù)方案及應(yīng)用拓展。
蘇琳琳 榮芯半導(dǎo)體有限公司存儲(chǔ)事業(yè)部總經(jīng)理、技術(shù)專家委員會(huì)秘書長(zhǎng)
蘇琳琳總經(jīng)理以《AI時(shí)代下的先進(jìn)封裝技術(shù)》為主題，介紹了異構(gòu)集成在AI時(shí)代下以更低的成本生產(chǎn)單個(gè)芯片，具有更高的設(shè)計(jì)靈活性和擴(kuò)展兼容性。她還分享了先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)和AI芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的前景和趨勢(shì)。
李華 中芯集成電路（寧波）有限公司射頻&濾波器銷售部門經(jīng)理
李華經(jīng)理以《硅基射頻前端和慣性傳感器市場(chǎng)分析》為主題，分享了目前RF濾波器和傳感器的市場(chǎng)需求及現(xiàn)狀，并介紹了中芯寧波射頻前端工藝技術(shù)平臺(tái)目前的最新進(jìn)展。
張軼銘 北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司科研及高校領(lǐng)域產(chǎn)品總監(jiān)
張軼銘總監(jiān)以《北方華創(chuàng)助力異質(zhì)異構(gòu)集成應(yīng)用》為主題，分享了集成電路作為支撐經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要工業(yè)技術(shù)，特別是在AI時(shí)代下，對(duì)集成電路的“感、存、算、傳”能力帶來(lái)的更大需求和挑戰(zhàn)。同時(shí)，他還分享了北方華創(chuàng)與甬江實(shí)驗(yàn)室在設(shè)備、技術(shù)等方面的合作情況。
此外，本次論壇還特設(shè)了一場(chǎng)圓桌論壇，甬江實(shí)驗(yàn)室副主任烏學(xué)東作為主持人，與中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所研究員張寶順、寧波元芯光電子科技有限公司董事長(zhǎng)國(guó)偉華、拓荊鍵科（海寧）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司副總裁郭萬(wàn)里、甬江實(shí)驗(yàn)室微納平臺(tái)研究員張瓦利等4位嘉賓，從產(chǎn)業(yè)界、供應(yīng)商、學(xué)界等多元角度，共同探討異質(zhì)異構(gòu)集成的應(yīng)用與挑戰(zhàn)。
正如每一棵參天大樹(shù)都成長(zhǎng)于深厚的根基，每一項(xiàng)前沿科技成果的產(chǎn)出也都離不開(kāi)堅(jiān)實(shí)底座的支撐。甬江實(shí)驗(yàn)室微納平臺(tái)正如一片科創(chuàng)沃土，承載著寧波推進(jìn)前沿科技創(chuàng)新、培育未來(lái)產(chǎn)業(yè)和發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力的決心。未來(lái)，在甬江實(shí)驗(yàn)室這片科創(chuàng)沃土上，必將培育出一批原創(chuàng)性、前瞻性、引領(lǐng)性的重大科技成果。
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