■?展會現場
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■ 6-8英寸碳化硅晶體及襯底片
目前，子公司SuperSiC晶瑞電子的8英寸碳化硅襯底片已批量交付一年多時間，為客戶提供了高品質且可靠的碳化硅材料解決方案。SuperSiC晶瑞電子布局的產線自動化智慧車間，將進一步提升產品品質的一致性，且帶來更多的降本空間，為客戶提供具有競爭力的全生命周期服務，更好推動碳化硅材料在新能源汽車、新能源電網、工業控制等領域的廣泛應用。
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■?8英寸襯底設備100%國產化的數字車間集成技術
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此外，此次展出的升級款水平式碳化硅外延設備，氣流獨立分區控制系統，將晶圓摻雜和厚度的sigma/mean值優化至2%以下；搭載的自動化裝載模塊（C2C）及單/雙腔選配方案，設備月產能提升至600片以上。該設備不僅新增配件整體拆裝功能，而且可實現定制化耗材批次清洗服務，為碳化硅外延生長降本增效提供更多可能，助推晶圓生產“量”“質”齊升。
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■?升級款水平式碳化硅外延設備
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未來，晶盛機電持續秉持“打造半導體材料裝備領先企業，發展綠色智能高科技制造產業”的企業使命，繼續深耕半導體行業，攻堅關鍵核心技術，提升自主創新能力，在全球半導體產業的賽道上跑出晶盛的科技加速度，為行業的創新發展持續賦能。
原文始發于微信公眾號（晶盛機電）：SEMICON JAPAN | 晶盛機電亮相2024日本東京半導體展覽會
應用終端?SIC?IGBT模塊?SIC模塊?碳化硅襯底?IGBT芯片?分立器件?材料?焊接材料?真空回流焊爐?燒結銀?燒銀爐?燒結爐?陶瓷基板?銅底板?焊接設備?劃片機?晶圓貼片機?灌膠機?貼片?表面處理?硅凝膠?環氧樹脂?散熱器?鋁碳化硅?五金?鍵合機?鍵合絲?超聲焊接機?陶瓷劈刀?激光設備?設備配件?PVD設備?ALD?電子漿料?CVD?導熱材料?元器件?密封膠?X-Ray?配件?超聲波掃描顯微鏡?塑膠外殼?玻璃?塑料?線路板?設備?散熱材料?熱敏電阻?點膠機?膠水?自動化設備?運動控制?封裝設備?檢測設備?認證檢測?夾治具?清洗設備?測試設備?磨拋耗材?磨拋設備?代理?貿易?其他
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