近年來,德龍激光重點布局集成電路先進封裝應用,在激光開槽(low-k)、晶圓打標的基礎上,重點研發出玻璃通孔(TGV)、模組鉆孔(TMV)、激光解鍵合等激光精細微加工設備,目前相關新產品已獲得訂單并出貨。
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TGV激光微孔設備
設備主要應用于先進封裝領域,是利用激光對晶圓玻璃進行改質加工,實現蝕刻成微孔的應用,本設備可以利用激光誘導不同材質 0.1-1mm 厚晶圓玻璃的微孔加工(TGV),可以實現各種尺寸盲孔、圓錐(通)孔的制備。
- 激光開槽/切割/鉆孔一體機
設備是利用激光,針對半導體封裝后的SiP產品進行打標、挖槽、切割(半切/全切)的全自動化設備。
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激光解鍵合設備
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激光輔助焊接設備
德龍激光激光輔助焊接設備主要應用在半導體封裝領域,主要作用是將芯片與PCB基板焊在一起,把芯片內的電路引出。用激光焊接芯片只對芯片區域加熱,不對整個基板加熱,可以最大限度的減小產品熱膨脹導致的變形,有助于提高芯片生產時的良率和可靠性。
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Edge、Notch切割設備
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晶圓(背面)打標設備
設備主要應用于先進封裝段,是利用激光對晶圓上單個芯片Die進行字符等信息標記的全自動作業設備。可同時兼容FOUP/FFC兩種方式上、下料,可同時滿足裸晶圓和透膜兩種打標工藝的要求,標準配置SECS/GEM功能,設備結構簡潔運行穩定,于IC單顆封裝產品,定位精準,具備印后檢測及挑補功能。
德龍激光(688170.SH)2005年由趙裕興博士創辦,位于蘇州工業園區,2022年4月29日科創板上市。
公司是一家技術驅動型企業,自成立以來,一直致力于新產品、新技術、新工藝的前沿研究和開發。公司專注于激光精細微加工領域,憑借先進的激光器技術、高精度運動控制技術以及深厚的激光精細微加工工藝積淀,聚焦于泛半導體、新型電子及新能源等應用領域,為各種超薄、超硬、脆性、柔性及各種復合材料提供激光加工解決方案。同時,公司通過自主研發,目前已擁有納秒、超快(皮秒、飛秒)及可調脈寬系列固體激光器的核心技術和工業級量產的成熟產品。
德龍激光肩負著“用激光開創微納世界”的使命,致力于成為在精細微加工領域具備全球影響力的激光公司。