信越化學工業株式會社成功開發了一種專用于氮化鎵(GaN)生長的300毫米(12英寸)QST?襯底,并開始提供樣品。信越化學此前已銷售150毫米和200毫米的QST?襯底及其相關的GaN外延片,但由于客戶需求,他們成功擴大到300毫米。
GaN材料可以在現有的硅生產線上使用,理論上可以通過增加襯底尺寸來降低生產成本,但大尺寸襯底容易出現翹曲和裂紋的問題,影響了生產效率。新開發的300毫米QST?襯底能夠實現無翹曲和無裂紋的厚膜GaN外延生長,大幅降低了設備成本。信越化學計劃進一步量產300毫米襯底,以加速GaN設備的普及,促進可持續社會的發展。