集微網(wǎng)消息,近日,晶盛機(jī)電在接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時表示,目前公司積極推進(jìn)項目進(jìn)度與產(chǎn)能提升,目前8英寸碳化硅襯底片已實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn),量產(chǎn)晶片的核心位錯達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。
晶盛機(jī)電表示,自布局碳化硅襯底業(yè)務(wù)以來,公司通過自主開發(fā)的設(shè)備、熱場和工藝技術(shù),不斷延伸產(chǎn)品系列。經(jīng)過研發(fā)團(tuán)隊的技術(shù)攻關(guān),公司于2020年建立6-8英寸碳化硅晶體生長及切磨拋產(chǎn)線,于2022年成功研發(fā)出8英寸N型碳化硅晶體。2023年11月,公司正式進(jìn)入了碳化硅襯底片項目的量產(chǎn)階段。目前公司碳化硅襯底片已通過多家下游企業(yè)驗(yàn)證,并實(shí)現(xiàn)批量銷售。
同時,晶盛機(jī)電相繼推出了6英寸雙片式碳化硅外延設(shè)備、8英寸碳化硅外延設(shè)備。據(jù)晶盛機(jī)電披露,其中6英寸雙片式碳化硅外延設(shè)備在外延產(chǎn)能、運(yùn)營成本等方面已取得國際領(lǐng)先優(yōu)勢,與單片設(shè)備相比,雙片設(shè)備單臺產(chǎn)能增加70%,單片運(yùn)營成本降幅可達(dá)30%以上,助力客戶創(chuàng)造極大價值。8英寸碳化硅外延設(shè)備可兼容6、8寸碳化硅外延生產(chǎn),解決了腔體設(shè)計中的溫場均勻性、流場均勻性等控制難題,外延的厚度均勻性1.5%以內(nèi)、摻雜均勻性4%以內(nèi),達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。
此外,在營收預(yù)期方面,晶盛機(jī)電稱,2023年度公司繼續(xù)強(qiáng)化裝備領(lǐng)域核心競爭力,同時積極推動新材料業(yè)務(wù)快速發(fā)展,希望在管理層和全體員工共同努力下,能夠?qū)崿F(xiàn)全年整體營業(yè)收入同比增長60%以上。
來源:集微網(wǎng)
推薦活動:
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會議議題
序號 |
暫定議題 |
擬邀請企業(yè) |
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8英寸碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展 |
擬邀請?zhí)蓟枰r底企業(yè)/高校研究所 |
2 |
大尺寸碳化硅單晶生長技術(shù)痛點(diǎn)解析 |
擬邀請?zhí)蓟鑶尉е苽淦髽I(yè)/高校研究所 |
3 |
新一代切片機(jī)“破局”8英寸碳化硅 |
擬邀請切割設(shè)備企業(yè)/高校研究所 |
4 |
激光技術(shù)在碳化硅切割及劃片上的應(yīng)用 |
擬邀請激光企業(yè)/高校研究所 |
5 |
液相法制備碳化硅技術(shù) |
擬邀請?zhí)蓟杵髽I(yè)/高校研究所 |
6 |
國產(chǎn)MBE設(shè)備應(yīng)用及發(fā)展情況 |
擬邀請?zhí)蓟柰庋悠髽I(yè)/高校研究所 |
7 |
SiC MOS器件結(jié)構(gòu)設(shè)計解決方案 |
擬邀請?zhí)蓟杵骷髽I(yè)/高校研究所 |
8 |
車用碳化硅加工工藝與要點(diǎn)研究 |
擬邀請?zhí)蓟杓庸て髽I(yè)/高校研究所 |
9 |
利用碳化鉭的碳化硅單晶生長技術(shù) |
擬邀請?zhí)蓟杵髽I(yè)/高校研究所 |
10 |
碳化硅襯底研磨拋光工藝及耗材技術(shù) |
擬邀請研磨拋光設(shè)備企業(yè)/高校研究所 |
11 |
適用于8英寸碳化硅的先進(jìn)切割工藝 |
擬邀請切割設(shè)備企業(yè)/高校研究所 |
12 |
化學(xué)機(jī)械拋光在碳化硅上的反應(yīng)機(jī)理 |
擬邀請拋光設(shè)備企業(yè)/高校研究所 |
13 |
碳化硅襯底及外延缺陷檢測技術(shù) |
擬邀請檢測設(shè)備企業(yè)/高校研究所 |
14 |
8英寸碳化硅外延材料生長核心工藝與關(guān)鍵裝備 |
擬邀請?zhí)蓟柰庋悠髽I(yè)/高校研究所 |
15 |
外延摻雜技術(shù)的優(yōu)化與改進(jìn) |
擬邀請?zhí)蓟柰庋悠髽I(yè)/高校研究所 |
16 |
8英寸碳化硅的氧化工藝技術(shù) |
擬邀請?zhí)蓟杵髽I(yè)/高校研究所 |
17 |
碳化硅離子注入設(shè)備技術(shù) |
擬邀請離子注入企業(yè)/高校研究所 |
18 |
高純度碳化硅粉末制備碳化硅晶體 |
擬邀請激光企業(yè)/高校研究所 |
19 |
碳化硅先進(jìn)清洗技術(shù) |
擬邀請清洗設(shè)備企業(yè)/高校研究所 |
20 |
碳化硅關(guān)鍵裝備的現(xiàn)狀及國產(chǎn)化思考 |
擬邀請?zhí)蓟柙O(shè)備企業(yè)/高校研究所 |
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擬邀企業(yè)
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高純碳粉、硅粉、碳化硅粉末、坩堝、籽晶等材料企業(yè);
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碳化硅晶體、外延生長等設(shè)備企業(yè);
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金剛石線切割、砂漿線切割、激光切割等切割設(shè)備企業(yè);
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碳化硅磨削、研磨、拋光和清洗及耗材等企業(yè);
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檢測、退火、減薄、沉積、離子注入等其他設(shè)備企業(yè);
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高校、科研院所、行業(yè)機(jī)構(gòu)等;
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報名方式
方式1:加微信
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收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)
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2500/人 |
5月11日前 |
2700/人 |
2600/人 |
6月11日前 |
2800/人 |
2700/人 |
現(xiàn)場付款 |
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2800/人 |
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