? ? 上海精測半導體子公司上海精積微半導體首臺明場缺陷檢測設備BFI-100E和首臺高速Driver ATE設備J-Metron 6101于近日正式交付客戶。上述兩款設備均由上海精積微半導體研發團隊自主開發，擁有完全自主知識產權。此次交付，填補了國內半導體制造領域中此類設備的空白，增強了國產設備在此領域的自主性，為半導體產業國產化助力。
? ? BFI系列產品是檢測帶圖形晶圓各種關鍵制程缺陷的納米級高精度明場光學檢測系統——主要面向各類成熟和先進制程工藝芯片廠。該設備使用納米級光學高分辨系統高速掃描和檢測整個晶圓的關鍵區域，快速精確檢測和獲取缺陷的圖像和位置信息，是芯片制程良率提升不可缺少的工具。 ? ? ?此次推出的BFI-100E采用BFI系列通用技術平臺，搭載寬波段高亮度激光等離子體光源、大數值孔徑物鏡系統、高精度大帶寬自動對焦系統、高速掃描相機、高精密多軸主動減震工件臺、整機控制軟件和圖像處理算法軟件，可全自動檢測芯片前道制造中各類關鍵制程的缺陷。 ? ? ATE是半導體自動測試設備，即通過測量半導體的輸出響應和預期輸出并進行比較，以確定和評估芯片功能/性能的后道檢測設備。 ? ? 此次推出的J-Metron 6101是專為LCD/OLED Driver IC提供CP和FT測試方案的ATE設備。J-Metron 6101由主機和測試頭組成，結合其先進的高速測試技術，為高分辨率面板 DDI提供最佳量產測試解決方案。 ? ? 近年來，面板驅動芯片變得越來越復雜，功能越來越多，電路規模越來越大，運行速度也越來越高。相應的面板驅動芯片的測試面臨著測試時間增加和測試成本上升的問題。符合更高的性能、更多樣的功能和更低的測試成本需求的測試系統方能滿足當前面板驅動芯片的測試。 ? ? J-Metron 6101支持高壓高精度多檔位測試；其優化定制的彈簧針盤具有更可靠、易安裝、易維護等特點；根據被測芯片的管腳數量可靈活配置單板，大大提升了設備性價比；通用的軟硬件接口可以快速導入用戶原有的測試工程，高效實現產品量產；設備小巧的尺寸提高了客戶潔凈廠房使用效率。
? ? 上海精積微半導體技術有限公司成立于2021年5月12日，由上海精測半導體技術有限公司投資新建，公司集研發、設計、制造和銷售于一體，主要產品包括有圖形晶圓缺陷檢測設備和面向各類芯片的電學檢測設備。依靠母公司上海精測半導體在半導體前道量檢測設備領域積累的技術基礎，迅速組建了國內外業內高端技術人才和資深專家擔綱的高水平研發團隊，并開展了明場光學缺陷檢測設備和電學檢測系列設備的研制攻關，以期打破國外壟斷，實現該設備的國產化替代與規模化量產，向晶圓制造、先進封裝及其他客戶提供定制化的設備解決方案，有效提升客戶的生產效率和產品良率。
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