【喜訊】：晶馳機電8英寸碳化硅電阻式長晶爐引領行業(yè)新標桿

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晶馳機電

技術(shù)創(chuàng)新，引領未來

此次推出的8英寸碳化硅電阻式長晶爐，是我司針對當前市場需求精心打造的先進半導體材料制備新裝備。

該設備采用獨特的結(jié)構(gòu)設計，結(jié)合最先進的過程控制理論和自動化控制方法，實現(xiàn)了長晶過程中工藝參數(shù)的精準控制和設備運行的高度智能化。通過創(chuàng)新的熱場設計，實現(xiàn)均勻的徑向溫度和寬范圍精準可調(diào)的軸向溫度梯度。熱場穩(wěn)定性高，使用壽命長，大幅提升了晶體的質(zhì)量和良品率。

圖2  8英寸碳化硅電阻式長晶爐

電阻法工藝：簡化操作，加速普及

與傳統(tǒng)的感應式碳化硅單晶設備相比，我司開發(fā)的電阻法SiC長晶爐簡化了工藝設計流程，熱場穩(wěn)定性高，熱場使用壽命長，多爐次生長單晶的一致性好，特別適合大尺寸碳化硅單晶生長。這一系列特點使得電阻法設備尤其適合希望快速進入SiC單晶生長領域但又缺乏深厚經(jīng)驗基礎的企業(yè)。

圖3  8英寸碳化硅驗收晶片位錯指標

圖4  8英寸碳化硅驗收晶片微管缺陷指標

小批量交付，開啟合作新篇章

憑借卓越的技術(shù)性能和市場適應性，我司8英寸碳化硅電阻式長晶爐已獲得多家客戶認可，并正式開啟了小批量交付。這不僅是客戶對晶馳機電技術(shù)創(chuàng)新能力的肯定，也是晶馳機電市場策略精準把握的證明。公司正積極尋求與更多碳化硅襯底材料廠家的深度合作，旨在共同推動SiC材料的應用普及與技術(shù)迭代，共創(chuàng)行業(yè)輝煌。

攜手合作，共創(chuàng)輝煌

晶馳機電作為浙江大學杭州國際科創(chuàng)中心的孵化企業(yè)，將努力弘揚求是精神，秉持創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展的理念，深化產(chǎn)學研合作，強化自主創(chuàng)新能力，不斷優(yōu)化產(chǎn)品性能，提高技術(shù)成果轉(zhuǎn)化效率，擴大生產(chǎn)規(guī)模，以滿足全球市場對高性能碳化硅材料日益增長的需求。

晶馳機電銷售經(jīng)理趙耀表示：“我們很高興看到晶馳機電8英寸碳化硅電阻式長晶爐項目取得成功，這不僅是公司技術(shù)進步的表現(xiàn)，也是我們對市場需求快速響應的結(jié)果。我們期待與更多合作伙伴共同推動半導體行業(yè)的發(fā)展?！?/p>

本次技術(shù)突破和產(chǎn)品驗證的成功，不僅增強了晶馳機電在國內(nèi)外市場的競爭力，也為中國半導體設備制造業(yè)的發(fā)展注入了新的活力。