近日
瑤光半導體（浙江）有限公司的
“SiC激光退火設備”
順利通過了省級首臺（套）
產(chǎn)品工程化攻關項目的驗收
問
什么是“首臺（套）”？
首臺（套）是以開發(fā)填補國內空白的重大短板裝備（材料、軟件），滿足重要工程或產(chǎn)業(yè)鏈的需求，或解決產(chǎn)業(yè)鏈中的關鍵問題。通過這樣的項目驗收，不僅證明了產(chǎn)品的技術水平，還為產(chǎn)品的市場推廣提供了有力支持。
瑤光半導體（浙江）有限公司位于浙江工業(yè)大學大學科技園，專注于半導體先進制程設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。
瑤光半導體（浙江）有限公司總經(jīng)理王濤
激光退火設備是我們企業(yè)的核心產(chǎn)品之一，此次通過驗收的設備是我們在原有產(chǎn)品基礎上進行升級后的第2.5代產(chǎn)品。升級后的設備采用了波長更短的紫外光，使得退火的精確度提高了10倍，從而提高產(chǎn)品的良率，降低生產(chǎn)成本。
雙退火模式：局部或全局退火，并開發(fā)了路徑優(yōu)化算法，以滿足不同工藝需求；
激光自動對焦技術+ 高速光閘裝置：解決了因晶圓厚度不同導致激光的聚焦問題，提高了退火的精度；
保護氣體填充及勻化技術：提高了退火區(qū)域的氣體保護效果，確保退火過程的穩(wěn)定性和一致性。
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原文始發(fā)于微信公眾號（瑤光半導體）：升級成功！技術領先！
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