山東有研刻蝕設備用硅材料部件項目通線量產

據悉，項目總投資3.57億元，主要生產大尺寸單晶硅部件加工品，全部達產后年新增硅材料204噸。“刻蝕設備用硅材料部件主要包括硅環和硅電極，是晶圓制造刻蝕環節所需的核心耗材，主要用于生產8至12英寸等離子刻蝕機，在刻蝕機上起到重要支撐作用。”山東有研艾斯半導體材料有限公司總經理閆志瑞介紹。

作為國內最早開展硅片產業化的企業，此前，有研集團一直生產刻蝕設備用硅部件半成品，來到德州后，開始布局全產業鏈成品制作。從2021年底謀劃至今，經歷了漫長的科研攻關道路，其間每次實驗都要精益求精，每個環節都要環環相扣，才能保證量產后的產品性能高。“要保證產品雜質少、微缺陷越少，要克服電阻率、金屬含量等諸多關鍵性能指標。”在閆志瑞看來，最難的是直拉硅單晶制備過程，需要保證工藝穩定性、質量參數的一致性。

作為“有研系”在德州布局的重點延鏈補鏈項目之一，項目對于完善全省集成電路產業格局，填補省內該領域空白意義重大，同時將徹底改變國內刻蝕設備用硅材料依賴進口的局面，實現國產替代。“搬來德州后，公司的晶圓用單晶硅材料從8英寸做到了12英寸，實現了嶄新跨越。但硅片生產處于集成電路產業的上游環節，附加值最大的在芯片制造中端環節。刻蝕用單晶硅材料屬于半導體單晶硅材料生產領域的另一主線，為此我們在這一主線做延展，現在我們不僅制造加工刻蝕用單晶硅材料，還能生產相關成品部件，全產業鏈布局可以直面終端刻蝕機廠商，無形中提升了市場附加值，在細分領域賽道中增加了競爭力。”閆志瑞告訴記者，“通線代表從小批量轉為大批量生產，目前，第一期每月產能1500片，最大目標是每月10000片，根據市場需求會隨時調整生產規模。”

眼下，有研集團已投資近百億元，共布局7個產業鏈項目，天衢新區涵蓋主要6個項目，并集聚打造了占地1000畝的集成電路關鍵材料基地。針對每個項目，天衢新區始終堅持靠前服務，成立項目推進專班，“全區成立了三級幫包服務專員隊伍，點對點、一對一收集項目建設中的疑難雜癥，全方位協助辦理各項審批手續、各種配套設施建設，幫助以最快速度落地投產。”天衢新區黨工委委員、管委會副主任李濤說。