在半導體生產制造中
如何安全、高效地搬運晶圓?
掌聲有請這對好搭檔
“FOUP”和“OHT”
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原文始發于微信公眾號(三星半導體和顯示官方):三星半導體|晶圓的“傳送盒”與“搬送車”
一顆芯片的制造工藝非常復雜,需經過幾千道工序,加工的每個階段都面臨難點。歡迎加入艾邦半導體產業微信群:
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“FOUP”和“OHT”
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